材料为王-第38部分

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　　　　宣言公布以后，初期经过了一周多一点时间的沉寂，计算机产业界才像忽然之间如梦初醒一般，无数的电话潮水一般涌入DEC总部。仅仅才两天时间，他们接到来自全世界大大小小计算机公司的电话，就已经达到了一千多个，而且全都是在询问关于技术开放，以及试探与DEC公司达成相关协作的事宜！

　　　　DEC的接话员被覆盖性的电话轰炸，给忙得几欲虚脱。

　　　　而在经过她们，将一些试探性的接触电话过滤之后，仍有多达数以百计迫切寻求切实合作的电话，被直接转到了奥尔森桌上。

　　　　奥尔森有一种以错觉，就好像是在一夜之间，他又重新回到了当初DEC在小型机市场独领风骚，全世界计算机软硬件供应商都围着他转的那个黄金时代。

　　　　这种感觉太幸福了！

　　　　他才挂上一个寻求合作的公司电话，铃声紧接着就响了起来，他满面堆欢地拿起话筒，威严道：“我是奥尔森！”

　　　　“奥尔森先生，非常抱歉打扰到您，我是川崎株式会社的相田胜彦。我这是在日本横滨给您打电话，我们这里收到来自美国的计算机专业期刊时间要稍晚一些。在昨天收到的《全美计算机学会通讯（特刊）》中，我们看到了关于您的一段话，其中表示将开放相关技术，请问这是真的吗？如果开放，将通过怎样的方式向外公开？同时对于您公开表示欢迎更多计算机配件厂商，进入这个市场，共同来完善个人计算机产品的呼吁，我们对此非常赞赏，迫切希望能够了解更多一些的情况，还请您能拨冗指教！”

　　　　川崎株式会社？

　　　　奥尔森脑子里隐约有点印象，这是一个日本的半导体内存生产厂商，在业界小有名气。这也难怪接线生在接到这个电话，确认对方的确是川崎株式会社的商务代表，便立即将电话转到了他的办公室。

　　　　不过日本人的英语发音本国口音很重，他要努力辨别才能听懂对方在说什么。

　　　　连日本人也闻到腥味扑上来了！

　　　　他心中惊叹。

　　　　美国的半导体产业发展最早，也最成熟。而日本由于与美国的特殊关系，且作为对抗苏联的盟国，在技术引进上几乎没有遇到阻碍，很轻松就能拿到全套技术及设备。从六十年代中期开始，在废墟上重新站起来的日本企业开始大量引进美国的半导体技术，试图发展他们的半导体产业。

　　　　日本人的学习能力真的是非常惊人。

　　　　不过几年时间，他们已经吃透了这些引进的技术，并建立起大量的半导体工厂。而日本人的忍耐力和服从性也高得吓人，被誉为“人形机器人”，可以忍受各种低工资、大强度的重复劳动。他们的技术师承于美国，虽然暂时还有些落后，但在技术要求较低的半导体存储器上面，已经小有成就，产品开始大量出口美国。

　　　　虽然质量低劣，但胜在价格低廉，对于那些看重成本核算的小公司而言，采用日本人生产的廉价半导体存储器是节约营运成本的有效手段。

　　　　奥尔森脑子里最初根本就没想到日本人。

　　　　但通过全美计算机学会通讯的传播，他的宣言已经跨越美国，传播到更加广大的范围。可以想见，未来试图需求技术合作的国际计算机生产厂商，会越来越多。没看到现在连日本人都已经从他的宣言中，看到了趁机扩大市场份额的契机，决定加入这场盛筵中来了吗？

　　　　奥尔森对日本人没有什么好感，但也没有恶感。

　　　　生意就是生意，只要他能赚到利润，让他和魔鬼做生意也是可以的。

　　　　如果是DEC自己生产的计算机他绝不会用日本生产的半导体存储器，低劣货会砸了自己招牌。但现在么，既然现在的目标是抵御住IBM的强势压迫，目前不以利润为追求目标，首先寻求以最快速度占领市场，并借此确定未来的个人计算机标准，那么，让质次价廉的日本人加进来，用价格攻势狂扫市场也是一个不错的选择。

　　　　心中计较已定，奥尔森脸上的笑容更加亲切，对着话筒用欢快地声音大声说道：“哈哈，非常欢迎川崎会社加入我们阵营。关于技术开放，我们是这样考虑的：将处理器与外界的数据传输接口，整合为一个集成电路，通过其用规范的接口电路，对外部设备进行有效管理调度。我们将这种接口芯片称为‘基本接口电路’，英语缩写为BIOS。为了让这个接口电路更加丰富和完善，保证能够识别尽可能多的计算机周边硬件产品，我们诚挚欢迎来自全世界的所有硬件生产厂家，提供你们的接口方式，整合进这个集成芯片内。这样一来，只要有了这枚芯片，以后在任意一台采用这种标准生产的个人计算机上，无需再附加其他特殊手段，就可以直接使用贵公司的半导体内存，这样也就扩大了贵公司产品的销售领域，对我们、还有你们，都是不可多得的良机。”

　　　　他在说话时，对面传来一阵阵急促的呼吸声。长途电话的通话质量不高，杂音很重，但他可以通过对方的接收器，听到似乎有许多人的喘气声，显然接听电话的不只是相田一个人，还有许多人正在贴在话筒上努力听清他所说的每一句话。

　　　　当他解说完毕，对面爆发出一阵热烈的欢呼声，并夹杂着许多他听不懂的日语对话。

　　　　随后，电话中插入了另外一个男人的声音，日本口音更重，说得又快又急，他几乎完全听不懂。直到重新换回了那个相田，他才弄懂对方的意思：“通过我们的BIOS芯片，自行搭建个人计算机产品？呵呵，这个问题你不应该问我，而是问你们自己是否有这方面的计划。我们只提供处理器和与外界进行数据交换的解决方案，也就是BIOS芯片，其他的并不在我们考虑范围之内……”

　　　　更大的欢呼声响起来。

　　　　虽然远隔重洋，他都能听到那几乎要把办公室吼得炸开的巨大欢呼声。

　　　　奥尔森微笑着把话筒拿开一点，以免刺痛耳膜。

　　　　之前那个插话的男人再次高声叫起来，并不断重复，声音是那么的颤抖，可以想见他在说这话时，是多么的激动。不过这次，奥尔森听懂了对方的内容，因为重复得这么多的话，其中只有一个单词：

　　　　“Patent！”

　　　　专利！

　　　　果然是在询问这个，奥尔森得意地笑起来。

　　　　“我们对于用户如何使用我们的处理器和BIOS芯片，并没有强制规定。对于我们来说，这款拥有我们全部专利所有权的处理器和BIOS芯片，用户在购买了它们之后，便拥有了全部的专利使用权。以上，就是我们公司全部的答复！”

　　　　他这段绕口令似的答复，却令对方极其满意，电话中一再传出对方的感谢：“Thankyou！Veryverythankyou！”

　　　　语气挚诚之极。

　　　　随后，对方迅速表示将派出公司的工程师，携带所产的半导体内存，以最快速度赶赴美国，与DEC公司洽谈正式合作协议。

　　　　挂上电话，奥尔森愉悦地在本子上记下一个新的名称：川崎株式会社（日本），第171家合作公司，半导体内存生产厂家！

　　　　在本子上，已经记满了长长的公司名称，有一些是久负盛誉的大公司，而有些则是刚才成立不久的新公司，甚至有些是从未听说过的“仓库公司”。但奥尔森并不在乎对方的实力强大与否，在尝尽了众叛亲离的滋味后，他迫切需要更多人来支持他，支持他的人多一个，就意味着站在IBM那边的人少一个。

　　　　这笔账他还是会算的。

　　　　只要有可能，对于每一个打来电话切实寻求合作的公司，他都尽可能亲自接听。看着长长的名单，他心中无限满足，口中轻轻地念出来它们的公司名称：

　　　　“伯尼。华盛顿电子技术公司……”

　　　　“康柏电脑……”

　　　　“惠普计算机公司……”

　　　　“……”



………【第五十三章　设备改造跨越式成功！】………

　　　　【这章的技术性环节太多了，为了准确描写，资料查得人都快发疯了！修修改改，竟然搞到四点半才修改完成，一个8000字以上超长章节，人累得要死】

　　　　郭逸铭这段时间都在忙着混合并行处理器工厂的建设，和设备的改造生产事宜。

　　　　只当厂房建成，他找来集成电路室主任万洪，得知处理器已经通过实验室测试以后，才在百忙之中抽空让霍克去跟奥尔森谈判，结成利益联盟，随后给奥尔森出了开放技术标准、狙击IBM，并让苹果公司恨之入骨的点子，随后就继续忙他自己的去了。

　　　　至于奥尔森现在有多么的春风得意，如何与来自全美、全世界的计算机厂商们一起携手共舞，如何挥斥方遒，指点未来个人计算机发展的江山，并为了制定一套汇集所有设备厂商、让大家都能够满意的接口规范吵得面红耳赤，他是一点精力也无暇旁顾。

　　　　一场从80年11月开始到现在，长达五个多月的设备改造终于迎来了最终完成的时候。

　　　　在中美电子研究所重新改建的超净生产车间内，郭逸铭，集成电路室主任万洪教授，材料应用研究所董老、集成电路室负责人高国皓，自动化研究所精密控制室负责人、总工程师朱成贵等一干人，都穿着轻薄型无尘工作服，透过头套上那层玻璃镜片，聚精会神地观看何师傅等几位八级技工，配合着上海精密仪器厂的几位设备工程师，为一台新型光刻机进行最后的安装。

　　　　厂房内一片寂静，只能听到工具与设备接触时发出清脆悦耳的金属碰撞声。

　　　　阳光从厂房外照进来，投射在高国皓的脸庞，让他若有所察地回过头看了一眼。经过滤光玻璃过滤，光线是那么的柔和，他直视太阳，也没感到有丝毫刺目。

　　　　“郭逸铭真是太会烧钱了！”

　　　　他看着洁净如新的厂房，心中暗暗叹息，何时国内也能用得起这样昂贵的洁净厂房呢？

　　　　对他来说，这个厂房不是用材料建起来的，而是用一麻袋一麻袋的整捆的美元，活生生给堆出来的！

　　　　难怪他要用“烧”这个词，来形容郭逸铭的花钱如流水。

　　　　当初中美电子研究所在建设初期，为了缩短工期、尽快投入使用，并出于节约成本角度考虑，这个设备车间采用的是简易房结构，遮风避雨没有问题，却无法阻挡空气中的细微尘埃从大门、气窗飘进来，落在设备、测量探头上。

　　　　这种情况在国内来说不算什么，更恶劣的车间环境也屡见不鲜，国内的技术人员、工人都早已见怪不怪。

　　　　只要搞好清洁卫生，平时勤打扫，特别是保养好设备关键精密机件就可以了，并不会影响设备运行精度，因此没有一个人想到要给精密加工机床建什么超净厂房。别说普通的国营大厂，就是从中美电子研究所这里学到了先进的精密机床制造技术以后，就在郭逸铭他们不远处，国家花巨资新建并投入使用、工业部下属几个部委抢得头破血流的国营精密部件制造厂，这个国家对其寄予厚望的中央直属重点企业，也没有建设专门的超净厂房。

　　　　郭逸铭对此感到深深的忧虑。

　　　　在这个时代，国内加工制造业的落后，不仅仅是具体制造工艺上的落后，更是意识上的落后。各种对细节的漠视，才造就了整个工艺水平的低下。

　　　　而高精密制造技术，或者说整个高科技，都是靠抠技术细节，一点一点抠出来的。

　　　　精密制造业对环境的苛刻需求，所有相关的技术人员、管理者都清楚，可就从来没有人想到过去把这个问题解决掉。

　　　　直到听说他拆掉了原来的简易厂房，重新斥资开始修建一个新的超净厂房以后，才有人诧异地跑来围观。对方最初还以为他们又要修建一个集成电制造、或是单晶硅制备之类的生产车间，当他们明白这个超净厂房建成以后，将提供给设备车间，进行超精密部件加工制造使用，很多人都露出了惊讶的表情。

　　　　不明白他为什么要在这里，花如此大价钱。

　　　　当他们看到郭逸铭从国外重金请专业公司设计，经他亲自审核修改的超净厂房建设图纸上，采取的种种措施：不但通过层层过滤，营造出一个超净空间，还通过深挖地基，为每一台高精密机床都设置一层成本高昂的液压缓冲层、大型自动水平调节装置，在缓冲垫上再使用高标号水泥将机床牢牢固定，从而将车床运行所产生的震动，减到最低，为精密制造创造一个稳定的运行环境。

　　　　又看到他通过繁复的空气调节装置和温度灵敏探测仪，以及程序自动调节系统，将车间恒定在一个机床探测仪器运行精度最高的温度范围。

　　　　再看到他为了将室内的空气流动速度、光照强度、噪音、湿度、电磁波等等各种环境变量，同样恒定在机床设备最佳的需要范围，绞尽脑汁、不惜动用一切手段时，他们都为之感到震惊，觉得他精益求精的要求到了走火入魔的地步。再盘算一下通过这种种改造，这个超净厂房的建设费用直线陡增到一个不可思议的恐怖程度——用他们的判断来看，其建设总开支，足以建设十个同样规模，并且并不见得比这种厂房差太多的高标准洁净厂房！

　　　　所有人都被这个巨大的消耗给吓坏了，认为郭逸铭实在是太小题大做，不把钱当钱用了。

　　　　只有郭逸铭自己知道，虽然洁净厂房的各项环境变量，从指标上看增长并不是特别明显，与投入的巨额支出相比，看似显得很不划算。

　　　　但也正是因为这不起眼的细微提升，却让在洁净厂房内按照标准规范生产的精密零部件，可以比国内的精密部件品质，提升一到两个等级！

　　　　大投入不一定带来大回报，没有大投入，就不可能产生超额回报。

　　　　事情就这样简单。

　　　　这不是他为了夸耀研究所有钱，而故意大手大脚花钱，他只是遵循了最基本的投入/产出规律，做出的顺应之举而已。

　　　　其他人不理解，但从事了一辈子材料研究的董老能够理解。

　　　　可也是他，眼看着用金钱堆砌起来的洁净厂房，神情黯然对郭逸铭道：“小郭啊，要是我们都照你这个厂房标准来建设，我们就是不吃不喝、把十年的研究经费投进来也不够花。这样的一个厂，我们是真的用不起啊！难怪国外的超精密制造业投入是越来越大！又是超净厂房、又是价格昂贵的超精密制造设备，这成本怎么可能低得下来！”

　　　　郭逸铭在了解了国家一年对材料所的研发总投入之后，也是深深地叹了口气。

　　　　经过数十年建设，国内虽然成功建设起一套完备的工业体系，足以满足自产自销的需要，可底子实在太薄了。数亿张嘴要吃饭，上百万返城青年要工作，人民群众对物质生活的巨大需求缺口，需要国家在工业品供应上加大投入……，到处都是嗷嗷待哺的嘴，兜里那一点点钱哪里够用？都是掰碎了，这里给一点点，那里给一点点，就像撒胡椒面似，殚精竭虑，苦熬着勉力支撑这个经济体系不垮，就这样都眼看要维持不下去了。

　　　　所以董美堂他们根本不敢奢望，拥有一座如同郭逸铭他们这种超高等级的超净厂房。他们前来参观，更多的是抱着收集第一手资料，等到国内将来资金充裕以后，能够为建设与之类似、或是更好的超净厂房作资料收集。

　　　　超精密加工升级的不只是一个超净厂房。

　　　　硬件再好，也需软件配合。

　　　　在郭逸铭重新制定的车间生产条例中，何师傅、钱师傅等几位高级技工，也要学会适应如何在超净厂房内，穿着无尘工作服、用更高的技术规范进行高精密加工作业。

　　　　为了帮助他们适应，郭逸铭长时间留在车间内，几乎是手把手地就每一个细节，对他们进行指导。这几位老技工都是八级高级技工，在国内是如同国宝一样的人才，为了适应新厂房的新技术规范，此刻也要跟着他，像个学徒一样，一点一点学习各种注意事项。

　　　　郭逸铭为了照顾他们的情绪，对于他们犯的任何错，从来都是控制住他的情绪，未曾有一句重话，总是讲道理掰碎了，非常耐心地对他们进行说服、讲解、分析，让他们自己明白这样做对精密加工质量提升带来的负面影响。

　　　　就这样，他们也花了很长时间，才勉强接受了这种别扭的工作方式。

　　　　倒是他们的几位徒弟，虽然也是三十来岁的中年人了，但学习的劲头却非常高涨，且虚心接受任何正确意见。他们在工作之外，还利用业余休息时间为自己充电补充，并在他建议下报名参加了夜校补习班。用他们的话来说，十年里，他们耽误了太多时间，现在他们要把时间抢回来，为了这个目标，吃再多的苦他们也愿意！

　　　　郭逸铭对他们的精神感到非常敬佩，也对他们未来的成长充满了信心。

　　　　他们的吸收进度，也确实远比几位师傅强，从港是什么都不懂，经常犯错。到中期，在如何操作自动精密加工设备上，他们已经超过了他们的师傅。所以到了后期，几位老师傅基本上都是在一旁指点，大部分加工业务都交给了几个徒弟。只有在遇到非常重要的地方，他们才亲自出马，利用他们丰富的经验来弥补设备上的不足。

　　　　郭逸铭对此很是高兴。

　　　　从老师傅几位徒弟的技术实力来看，虽然因为现在的精密制造设备，与何师傅等国宝级高级技工相差不大，几位老师傅还可以靠着精确的肉眼判断、超强的稳定性，占有一定优势。但可以预见，随着超精密加工技术、设备的跳跃式发展，当几个徒弟彻底掌握了通过高科技精密设备，进行高精密部件的的操作要领，他们的成长潜力将远远超过他们的师傅。

　　　　尽管他们可能无法做到仅凭肉眼，就将加工精度控制在一丝的范围之内，尽管他们还不能如他们的师傅一样，用一把锉刀，错处宇航级的精密部件，但这不妨碍他们未来操作着超精密加工设备，将加工精度提高到纳米级别！

　　　　这就是科技的力量！

　　　　人力有极限，而科技无极限！

　　　　郭逸铭要的，也不是又一批八级技工，他需要的是合格的超精密设备操作人员。

　　　　超净车间有了，加工设备重新改进了，几位老师傅和他们的徒弟也掌握了在超净环境下，精密加工的要领，接下来才是对半导体设备的改造。

　　　　集成电路制造的光刻、刻蚀、参杂、离子注入、扩散、沉淀、封装等各个主要环节，要说重要，每一个都非常重要。这些环节是一个完整工艺链上的一环，并且环环相扣，每一个环节所造成的疏漏，都会给下一个工艺流程带来无法弥补的重大损失，降低产品品质，使得良品率大大降低。

　　　　各个环节之间的关系，并非相加关系，而是乘积关系！

　　　　用公式来表达，就是哪怕每一个环节，成功率都提高到90％，可整个工艺链运行下来，如果有两个主要环节，就是90乘90，最终成功率为81％！而当环节延伸为三步，那成功率将陡然降至72。9％，四步则更降至65。61％。

　　　　由此可见，尽最大努力提升每一个环节的制备成功率，对集成电路制造业的整体提升效果，都具有非常重要的意义。

　　　　郭逸铭在仔细分析了国内现在的集成电路制造工艺后，没有一下子拿出什么先进制造设备来。因为半导体制造设备的提升，是一个涉及到光学、化学、精密制造、自动化等等各个领域的综合运用成果，他不是神仙，无法在瞬间让这些行业类得到全面的提升，只能抓住一点进行突破。

　　　　他的突破点，便是将原来重复的手工作业，尽可能采用自动化操作来代替。

　　　　手工操作对集成电路的影响可谓是全方面的，不谈人工取件拿件对器件可能造成的污染，首先人的肌肉稳定性、注意力等等方面，和自动设备相比，先天上就居于下风。哪怕是一个极为出色的操作员，在长期枯燥的重复劳动中，也难免会在不经意间出现误操作。而且即便是这个操作员注意力非常集中，肌肉控制力超群，可他每一次移动掩膜、推动光刻头之后，都需要重新对准、聚焦，再怎么熟练的操作员，其复位、步进、精确控制的效率也不可能比机器更高。

　　　　要想提升集成电路制备品质、生产效率，用自动化仪器代替手工操作，是见效最快、最容易实现的，即便是国内较低的自动化测量、控制水平，也可以使得整体水平出现一个飞跃式跨进。

　　　　而且之前，他们已经积累了相当的应用经验。

　　　　当初在制造单晶炉控制部件、运动部件上，他们与单晶炉制造厂家、自动化研究所协作，已经积累了丰富的经验，并具有了相当的默契。郭逸铭他们这次再次与自动化研究所携手，在和上海厂的技术人员进行充分交流之后，对国产的半导体制造设备进行了一次大刀阔斧的改造。

　　　　通过不断改进、尝试，设置了大量的传感器、伺服电机、自控程序，根据人工操作采样结果，采用预制步骤的方式，为如何将原来交由人工控制的各种操作尽可能减到最少，他们绞尽脑汁。

　　　　这方面，材料所也给与了大力协助。

　　　　董老等人得知郭逸铭他们在改进集成电路制造设备的消息以后，对如何实现自动化操作充满了兴趣，很快便也积极投入进来，从技术角度给与了全方面协助。

　　　　他们的支持非常关键。

　　　　论到对这个时代国内最尖端科技的实现方法，最为权威的部门莫过于材料应用所。董老他们查阅大量资料，和所里的技术储备，屡屡在郭逸铭他们改造遇到困难的时候，在关键地方提出了合理建议，从而使得他们得以突破技术难关。

　　　　郭逸铭提供技术思路、材料所负责提供本时代能够解决的技术、上海设备厂丰富的半导体设备制造经验、何师傅等人的超精密加工能力。他们亲密无间的合作，让设备改造进度飞快向前。

　　　　并且随着进度的提前，郭逸铭还对在集成电路制造中，居于最关键技术环节的光刻机设备的改造，做出了全新的改进。

　　　　光刻是进行集成电路制造的首要环节，其精度、成功率，可以说直接决定了集成电路制造的品质，和产品良品率高低，重要性无论如何拔高，都不为过。

　　　　国内当前的光刻机，还采用的是六十年代的接触式光刻机，在移动掩膜时，不留心就会碰触到光刻胶。而掩膜上哪怕是出现一个极其细微的损伤，都将给接下来的集成电路制造，带来无可估量的严重后果。

　　　　在此之外，国内现在的光刻机紫光照射，是通过透镜聚焦于一点，对局部电路进行光刻之后，再对另一个局部电路进行光刻处理。对比国外已经流行的伺服电机驱动、紫外光聚焦点对掩膜电路进行扫描式曝光，国内的光刻效率非常低下。

　　　　郭逸铭没有兴趣跟在外国人屁股后面，亦步亦趋。

　　　　他亲自动手设计，将原来接触式光刻平台，上移之后，通过光学作用，将透镜凝缩的聚焦点，扩张放大后再缩为一条线。

　　　　通过步进电机，精密驱动紫外光前后移动，变换曝光位置。

　　　　这可不是什么扫描式光刻机，而是后世才逐渐成熟，比扫描式光刻机更先进的步进扫描式光刻机。

　　　　这种光刻机，通过调整透镜距离，将原来点状的紫外光聚焦放大为覆盖到单晶硅边缘的条状曝光区。这样就可以一次性实现对整条区域内电路的照射曝光，一下子就将光刻效率提升数十倍，既加快了制造效率，又节约了成本，可谓是一举数得。

　　　　为了尽快完成对设备的改造工作，他们一直从80年11月，忙到了81年的3月下旬。

　　　　整整五个多月的时间，他们没有一天的休息时间。

　　　　为了节约每一份每一秒，尽管材料所就在马路对面，董老他们仍舍不得浪费这么一点点时间。所有参与技术攻关的人员，吃住都在行政楼内，稍微有一点空闲，他们也用来分析、讨论、研究如何对设备进行自动化改造。有好几次都已经深更半夜了，脑子里忽然有了某个思路的董老等人，也爬起来，心急火燎地敲开郭逸铭的房门，与他就此展开论证。

　　　　就这样，他们日以继夜的投入到改造工作中，所有人都忙得人不像人、鬼不像鬼，每天一直要忙到最后一丝精力都被榨干才精疲力尽投入梦乡。他们忙得连打理个人卫生的时间都没有，只有利用在进洁净车间经过必须洗漱程序时匆匆洗漱一下。

　　　　就这样，一直忙到81年3月23日，第一套完整的半导体制造设备终于装配完成。

　　　　设备的安装、调试工作也是一个需要非常小心的活。

　　　　高精密的设备，对工作环境的要求也是同样苛刻无比。这个时候，就显出了何师傅等人的本事，他们仅靠着肉眼观察、光影判断，就能精确判断出设备的倾斜角度是否符合要求，其精确率，丝毫不亚于上海厂几位拿着测试设备随时观测的工程师，且做出判断的速度，比他们摆放设备，从各个角度反复测量还来得快！

　　　　安装调试工作又用了将近一个月时间，4月17日，设备正式启用，进入试运行。

　　　　这是一个足以载入中美电子研究所史册的日子，当天，所有得知消息的研究、行政、工人全都放下了手头的活，聚到了处理器洁净厂房外。虽然他们不能进去，什么也看不到、听不到，但所有人都不肯离去，都默默地等在门口。

　　　　几位曾在无线电一所等好几家重点科研单位，从事了数十年半导体制造设备操作，多次荣获先进工作者、劳动模范称号的老技术人员，纷纷各就就位。

　　　　严格的设备运行前检查工作，在郭逸铭全体研发人员的瞩目下，一丝不苟地进行着。

　　　　他们在前期设备研制改造过程中，就全程参与其中，一些具体操作要领还是源于他们的建议，各种操作流程已经是铭记于胸。在这次开机测试前，他们向郭逸铭拍着胸口保证，哪怕是闭着眼睛，他们也会按照规范要求，圆满地完成设备操作，绝不会出任何纰漏。

　　　　郭逸铭相信他们能够说到做到。

　　　　尺寸1：1掩膜版早已制造完成，一共准备了12块掩膜版，这一点在工艺上并无特大改进。在操作员控制下，自动上胶机飞速转动，缓缓接近单晶硅衬底，飞快地旋转而过，一层光刻胶就匀称的涂抹到了单晶硅衬底上。

　　　　操作员对其厚度、均匀程度检测以后，向郭逸铭他们挑起了大拇指。

　　　　一阵轻微的欢笑声，在人群中响起，随即便迅速重归宁静，未到试运行结束，谁也不敢有丝毫放松。

　　　　涂抹了光刻胶的衬底，被送进烘焙炉中进行烘焙，使光刻胶干硬成型，并完成